[发明专利]一种铌酸锂调制器及其静态偏置点无源补偿方法在审
| 申请号： | 202110777897.9 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113419362A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 庄池杰;马昕雨;曾嵘;刘向东 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02F1/065 | 分类号： | G02F1/065;G02F1/03;G02B6/122;G02B6/125;G02F1/21 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人： | 张迎新 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铌酸锂调制器及其静态偏置点无源补偿方法，所述调制器包括有金属行波电极，还包括有绝缘体上铌酸锂薄膜以及静态偏置点补偿材料层，所述静态偏置点补偿材料层覆盖在绝缘体上铌酸锂薄膜上。所述方法包括有通过刻蚀或剥离工艺在铌酸锂薄膜层上覆盖静态偏置点补偿材料层。本发明避免了温度对铌酸锂调制器静态偏置点的影响，实现了静态偏置点补偿的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 调制器 及其 静态 偏置 无源 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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