[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110779441.6 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113472311B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 杨明亮;李壮;陆增天;掌庆冠;许志斌 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及MEMS器件制造领域，该制备方法包括：提供基底；在基底表面生长非晶硅，在非晶硅表面形成反射栅；在反射栅上形成下电极，对下电极进行平坦化处理，平坦化结束在下电极的信号输出区域制作阻挡层；在形成有阻挡层的下电极上形成压电层；在所述压电层上形成上电极，完成谐振器。本发明通过剥离工艺及CMP工艺对下电极进行平坦化，很好的保证了压电层的成膜质量，进而减小谐振器的插入损耗，提高谐振器的品质因数Q。同时本发明通过对下电极的信号输出区域进行阻挡工艺，解决了压电层在湿法腐蚀工艺时对下电极金属的腐蚀问题，极大地提高了体声波谐振器的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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