[发明专利]自动超声波涂铟设备在审
| 申请号： | 202110781854.8 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113351957A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 张曹 | 申请（专利权）人： | 常州井芯半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/06 | 分类号： | B23K3/06;B23K3/08 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人： | 于雅洁 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市武进区常武中路1*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种自动超声波涂铟设备，涉及涂铟技术领域。自动超声波涂铟设备，包括：超声涂铟装置、滑动平台和支撑台。超声涂铟装置包括超声振动系统和铟槽，超声振动系统的超声振动头伸入铟槽内，铟槽用于容置铟液，超声振动系统的振动头座与滑动平台连接，支撑台用于放置待涂铟对象且能够带动待涂铟对象转动，滑动平台用于带动超声涂铟装置沿着预设方向移动并对待涂铟对象涂铟。本申请的自动超声波涂铟设备，通过超声涂铟装置与滑动平台、支撑台的配合，能够使得旋转靶材或者背管被自动化涂铟，且涂铟的效果好，品质高，对于铟液的浪费也少，大大提高了自动化水平且降低了成本，有效解决了现有问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 超声波 设备 | ||
【主权项】：
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