[发明专利]一种化学气相沉积及退火连续制程装置、方法和应用

摘要

本发明涉及化学气相沉积领域，尤其涉及一种化学气相沉积及退火连续制程装置，其包括：用于进行气相沉积以及退火步骤的反应室、用于向反应室内部输送反应气体的气体阀件模块、用于向外排放反应室内部的制程尾气并调节反应室内部的真空度的压力控制模块以及对压力控制模块输送的制程尾气进行纯化的尾气循环模块。本发明通过在同一设备中同时整合化学气相沉积装置以及退火装置成一体，从而能够大大减少企业购置生产设备的成本，并能够有效缩短钨金属物料的生产时间，增加了生产效率，提升机台利用率，还能够提升生产原物料的利用率，有效节约生产成本，从而能够在回收报废离子源钨制腔体中起到良好的应用。