[发明专利]一种靶材组件的电子束焊接方法及靶材组件在审
| 申请号： | 202110784278.2 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113458576A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;张冬青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/06 | 分类号： | B23K15/06;B23K15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材组件的电子束焊接方法及靶材组件，所述电子束焊接方法包括以下步骤：(1)提供靶坯和背板，将靶坯的焊接面与背板的焊接面相对设置并贴合，形成预焊靶材组件；(2)将步骤(1)所得预焊靶材组件置于真空环境中，并使预焊靶材组件处于旋转状态，采用电子束对预焊靶材组件的焊缝进行焊接，在0.1‑0.5s的收尾时间内完成收尾操作，形成靶材组件。本发明提供的电子束焊接方法彻底去除了收尾缺陷，提升了产品良率，将返焊率控制在2％以下，显著提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 电子束 焊接 方法 | ||
【主权项】：
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