[发明专利]一种提升压力传感器用敏感元件阻抗特性的方法在审
| 申请号： | 202110784496.6 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113514172A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 熊德文 | 申请（专利权）人： | 盛瑞新晶体科技（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 沈锋 |
| 地址： | 523846 广东省东莞市长*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及涉及压电传感器技术领域，具体涉及一种提升压力传感器用敏感元件阻抗特性的方法，通过设置多组压电晶片测试组，且任意两个压电晶片测试组中的压电晶片的上下表面粗糙度和侧面粗糙度都不完全相同，通过控制变量法对压电晶片进行阻抗测试，获取特定条件下上下表面粗糙度和侧面粗糙度对压电晶片阻抗的关系，并根据对应关系获得预期阻抗值的压电晶片的上下表面粗糙度和侧面粗糙度，获取的压电晶片粗糙度具有高度一致性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 压力 传感 器用 敏感 元件 阻抗 特性 方法 | ||
【主权项】：
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