[发明专利]一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法在审
申请号: | 202110787060.2 | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN113354393A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 孔伟华 | 申请(专利权)人: | 江苏迪丞光电材料有限公司 |
主分类号: | C04B35/01 | 分类号: | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/624;C23C14/08;C23C14/35 |
代理公司: | 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 | 代理人: | 宋佳 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明提供一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法,包括以下步骤:1)、称取In |
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搜索关键词: | 一种 凝胶 制备 igzo 旋转 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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