[发明专利]用于确定对指纹的贡献的方法在审
| 申请号： | 202110789512.0 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN113376976A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | D·哈诺坦耶;贾飞;F·斯塔尔斯;王富明;H·T·洛耶斯汀;C·J·赖恩尼瑟;M·皮萨连科;R·沃克曼;T·希尤维斯;T·范赫默特;V·巴斯塔尼;J·S·威尔登伯格;埃维哈德斯·康尼利斯·摩斯;E·J·M·沃勒伯斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B13/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定参数的指纹的方法、系统和程序。所述方法包括确定出自多个装置中的装置对参数的指纹的贡献。所述方法包括：获得参数数据和使用数据，其中所述参数数据基于对已由所述多个装置处理的多个衬底的测量结果，所述使用数据指示出自所述多个装置中的哪些所述装置用于每个衬底的所述处理；和使用所述使用数据和所述参数数据确定所述贡献。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 指纹 贡献 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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