[发明专利]减少开裂的旋转靶材绑定方法在审
| 申请号： | 202110790276.4 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113684459A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 马建保;盛明亮;陈亮;王振宏 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种减少开裂的旋转靶材绑定方法，通过先对背管外表面和ITO靶筒内表面进行金属化，再对两者进行焊接绑定在一起，通过在绑定炉内从上到下分布加热器来控制绑定炉内的温度，绑定前背管内从上到下的温度最大与最小值温差≤3℃，升温绑定时绑定炉内从上到下的温度最大与最小值温差≤8℃，升温绑定时背管内从上到下的温度最大与最小值温差≤5℃，这样大幅提升ITO靶材绑定过程的焊合良率及其稳定性，减少靶材绑定过程和绑定后由于热冲击及焊合不良导致的靶材开裂问题，降低制程成本。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 开裂 旋转 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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