[发明专利]一种掺铝氧化锌靶材的变温快烧工艺在审
| 申请号： | 202110795568.7 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113354407A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 孙本双;刘洋;何季麟;曾学云;舒永春;陈杰;郝振华 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/63;C04B35/64;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 程小芳 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掺铝氧化锌靶材的变温快烧工艺，包括以下步骤：对掺铝氧化锌素坯进行一体化脱脂烧结处理，脱脂过程在空气气氛中进行，并在流通可控混合气氛状态下，通过烧结过程中变温处理，制得高密度掺铝氧化锌靶材，所述混合气氛为空气+氧气，烧结时间大大缩短，实现了快速活化烧结，抑制晶粒长大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 变温快烧 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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