[发明专利]一种基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置及方法在审
| 申请号： | 202110796267.6 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113634383A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 兰慧;朱珣;邓宏涛;陈子琪 | 申请（专利权）人： | 江汉大学 |
| 主分类号： | B05B5/00 | 分类号： | B05B5/00;B05B5/03;B05B5/053 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 张晓冬 |
| 地址： | 430056 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种基于电场力诱导的极紫外光源液滴靶发生装置及方法，包括一带电容器，所述带电容器包括加热部和喷出部，喷出部底端设置有微孔喷嘴，且带电容器内盛有四氯化锡，在所述带电容器的外侧壁上电连接有正极。本发明具有的有益效果是：带电容器中的四氯化锡从微孔喷嘴中喷出形成射流，同时对带电容器的侧壁施加正电压，使射流表面带正电，同时对环形带电极板施加周期性幅值变化，形成变化的电场力使射流断裂为液滴，相比传统的利用超声振杆产生振源来使射流断裂，本发明所提出的周期性电场力拉伸射流断裂方法，直接避免了振动信号传递到微孔喷嘴处产生的横向漂移，具有相对较高的射流横向稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电场 诱导 紫外 光源 液滴靶 发生 装置 方法 | ||
【主权项】：
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