[发明专利]一种复合型减反射膜及其制作方法在审
| 申请号： | 202110797334.6 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113699497A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 周伟杰 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/10;G02B1/115 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王欣 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种复合型减反射膜及其制作方法，制作方法包括步骤：将衬底置于磁控溅射设备中，控制氩气的流量，并控制ICP中氩气和氧气的流量比，在衬底上交替形成低致密度的多层第一膜层和多层第二膜层，其中第一膜层具有第一折射率，第二膜层具有第二折射率，第一折射率和第二折射率不同，且位于最外层的为第一膜层；降低氩气的流量，保持ICP中氩气和氧气的流量比，在最外层第一膜层上形成高致密度且具有第一折射率的第三膜层。本发明中，由第三膜层有效地“抵挡水汽”，减少反射率变化的可能性，从而减少影响光学效果的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 减反射膜 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利光电股份有限公司，未经信利光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110797334.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
