[发明专利]一种复眼照明系统的匹配方法有效
| 申请号： | 202110798429.X | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113419407B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 徐乐;王丽萍;吴越;张旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复眼照明系统的匹配方法，包括配置有光阑复眼的光阑复眼基板和配置有视场复眼的视场复眼基板，包括：获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置，获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合，以及获得所述最优组合时所述可用光阑复眼的初始角；对当所述可用光阑复眼与视场复眼为最优组合时被重复组合所述可用光阑复眼进行重新放置，并使无法放置的光阑复眼所匹配的视场复眼通过转动偏离照明光路，使其不参与重复的照明模式，进而获得所述可用光阑复眼与视场复眼的最终组合。通过本公开的优化匹配方法，可以获得可用光阑复眼与视场复眼的最佳组合，该使得入射到掩膜版上的EUV光有相对最高的能量利用率和照明均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复眼 照明 系统 匹配 方法 | ||
【主权项】：
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