[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材生产装置有效
| 申请号： | 202110798543.2 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113249703B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 常代展;谭明强;王雷 | 申请（专利权）人： | 江苏海泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南通苏专博欣知识产权代理事务所(普通合伙) 32574 | 代理人： | 施荣华 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，涉及氧化锆靶材生产技术领域。本发明包括支撑框架，支撑框架内表面之间分别固定安装有加工机构、水循环机构、送料机构和送气机构，支撑框架侧面固定安装有负压吸尘机构，水循环机构、送料机构、送气机构和负压吸尘机构一端均与加工机构连通，加工机构包括机体，机体周侧面与支撑框架固定连接，机体侧面与送气机构固定连通，机体另一侧面固定连通有与负压吸尘机构连通的吸尘罩。本发明通过加工机构、水循环机构、送料机构和送气机构的设计，使该装置能够以自动化方式高效完成氧化锆旋转靶材的生产作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 氧化锆 旋转 生产 装置 | ||
【主权项】：
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