[发明专利]紫外胶预固化时间测量装置及方法有效
申请号: | 202110803459.5 | 申请日: | 2021-07-16 |
公开(公告)号: | CN113418599B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 陈伟;陈少康;金亚;班德超;翟鲲鹏;穆春元;陈寅芳;李明;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种紫外胶预固化时间测量装置及方法,装置包括振动测试平台;子载体,安装在振动测试平台上,以随振动测试平台振动;激光发射组件,安装在子载体上;汇聚透镜,通过待测的紫外胶可移除地粘接在子载体上;紫外光源,被构造成照射紫外胶,使得紫外胶至少发生预固化,以改变汇聚透镜相对于子载体的位置;以及探测器阵列,被构造成记录激光发射组件发射的激光经汇聚透镜后的光强,以通过根据紫外光源照射紫外胶的时间和由于紫外胶的预固化导致的光强的变化确定紫外胶的预固化时间。本发明与目前依靠经验去选取预固化时间的方式相比,通过实验测试得到的结果更准确,提高了光模块生产的可靠性,提高了光模块生产的产能。 | ||
搜索关键词: | 紫外 固化 时间 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
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