[发明专利]一种IWO靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202110805830.1 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113548872A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 刘永成;陈明飞;郭梓旋;徐胜利;江长久;陈明高;莫国仁;王志杰;李跃辉 | 申请（专利权）人： | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种IWO靶材及其制备方法与应用，该靶材IWO靶材包含氧化铟和氧化钨；所述氧化钨的含量以W/(In+W)的原子数比计为0.1～0.15；所述IWO靶材的密度为6.5g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 iwo 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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