[发明专利]一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置在审
| 申请号： | 202110806186.X | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113485540A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 常兵;邹桂明;杭晓宇;管林翔;王冰 | 申请（专利权）人： | 江苏七维测试技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F1/20 | 分类号： | G06F1/20;G06F8/61 |
| 代理公司： | 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 | 代理人： | 饶振浪 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了晶圆加工领域的一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒，安装盒内安装有烧写器，烧写器的右侧于安装盒内安装有烧写盒，烧写盒内安装有两个晶圆固定装置，安装盒的顶部安装有顶盖装置，安装盒的右侧安装有用于固定顶盖装置的锁紧装置，安装盒的底部安装有延伸至其内部的水冷装置，水冷装置包括：水箱、水泵、主体管、吸热球和冷却管，水箱安装于安装盒的底部，水箱内安装有水泵，安装盒的内部左右两侧分别安装有一个主体管，主体管上设置有多个吸热球，水泵通过水管与主体管相连，主体管通过水管与冷却管相连，冷却管通过水管与水箱相连。本发明结构简单，散热性好，防护性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆铝条烧写 确认 测试 防护 装置 | ||
【主权项】：
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