[发明专利]一种用以制备无源器件的自动化设备及制备方法

摘要

本发明涉及无源器件自动加工领域，具体是涉及一种用以制备无源器件的自动化设备及制备方法，包括工作台、反应腔、固定组件、旋转组件和制备机构，将半导体衬底放入其中一个反应腔中，通过固定组件使得半导体衬底无法移动，通过反应腔提供制备的密闭空间，同时启动旋转组件和第一制备组件，旋转组件驱动固定组件转动，第一制备组件在反应腔充入化学气体，在半导体衬底表面上进行化学反应生成绝缘介质层，完成后将半导体衬底取出放入另一个反应腔内，通过第二制备组件在反应腔充入化学气体，在半导体衬底的绝缘介质层上表面上形成金属层，从而获得无源器件样品，操作简单，同时两个反应腔分别制备，提高了制备的效率。