[发明专利]一种用于CMM系统的控制方法有效
| 申请号： | 202110807077.X | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113405459B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 国鑫;王辉;周烽;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G06F17/12 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请提供的用于CMM系统的控制方法，若干个所述激光干涉仪出射的激光汇交于所述探头处，建立所述探头的位移与所述激光干涉仪之间的联系，分析被测物体的面形特点，并通过三坐标探头打点得到相应的干涉仪位移，从而得到特征面上的特征点，并通过最小二乘法拟合的方式进行特征拟合采用最小插值的方法，生成特征面上的点集，并将该点集作为自动打点的采样点，根据所述采样点完成对被测物体平面的打点工作，将带数据进行zernike多项式拟合，得到拟合的波面，进而得到PV与RMS值，完成对面形的分析，本申请提供的用于CMM系统的控制方法，有效地分析并确定纳米级别的被测物体的面形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cmm 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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