[发明专利]一种锗晶体生长设备复合减速器装置在审
申请号: | 202110809689.2 | 申请日: | 2021-07-17 |
公开(公告)号: | CN113463186A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请(专利权)人: | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B15/20;C30B29/08 |
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地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种锗晶体生长设备复合减速器装置,包括驱动机构,驱动机构包括基杆,基杆的表面通过固定组件固定连接有电机,电机的输出端固定连接有第一齿轮,本发明的有益效果是:通过设置组合式减速器,使提拉杆的抬升与旋转速度稳定,不会间断性的抬升,有效减少锗晶体表面横纹,使生长出的锗晶体更加均匀,在锗晶体生长过程中,电机旋转带动第一齿轮和第二齿轮旋转,经过第一行星减速器和第二行星减速器减速后,输出杆带动提拉杆缓慢旋转,通过第一行星减速器带动圆筒上移,圆筒通过圆块带动提拉杆缓慢提升,其中第一行星减速器和第二行星减速器的减速比例不同,方便适应锗晶体的生产速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 设备 复合 减速器 装置 | ||
【主权项】:
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