[发明专利]一种模斑转换器的制作方法及模斑转换器在审
| 申请号： | 202110810706.4 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113534344A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王亮;蒋凯;蒋忠君;张博健 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138;G02B6/136;G02B6/132;G02B6/122;G02B6/124;G02B6/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种模斑转换器的制作方法及模斑转换器，其中，模斑转换器的制作方法包括：提供一衬底；在上述衬底上生长保护层；在上述保护层上定义楔形结构区域；在上述楔形结构区域，通过一次接触式曝光得到光栅式结构；通过热熔上述光栅式结构，得到楔形结构；通过刻蚀，将上述楔形结构转移至上述衬底上；在上述楔形结构上制作脊波导结构，得到模斑转换器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转换器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110810706.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
