[发明专利]一种实现共轴的电子束成像设备及实现方法有效
| 申请号： | 202110810762.8 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113539769B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 赵焱 | 申请（专利权）人： | 苏州矽视科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;G02B21/24 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 史慧敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种实现共轴的电子束成像设备及其实现方法，包括电子源，用于发射主电子束；聚光镜，用于调节束张角，即将所述电子源发射的电子束进行会聚；限制膜孔，用于限制杂散电子和束流；物镜，用于将入射的主电子束聚焦到样品表面；探测器，用于收集电子经由光电转换形成图像；工作台，用于承载样品并将待测区域移动定位至光轴下方；光学显微镜，用于对待测区域成像定位并关联电子光学光轴所对应的位置。本发明配置折射面，将光学显微镜物方光路导入电子光学光路，实现共轴或平行，同时折射面成为样品表面激发出的信号电子的轰击靶面，通过二次电子探测器或环形探测器接收检测，根据检测结果调节光学显微镜位置实现并行同位成像或先后成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 电子束 成像 设备 方法 | ||
【主权项】：
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