[发明专利]体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110811548.4 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN114465597A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 李泰京;韩相宪;朴成埈;尹湘基;李尙泫;严在君 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 赵晓旋;沈浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及保护层，设置在所述谐振部的上表面上。所述保护层包括：第一保护层，利用金刚石薄膜形成；以及第二保护层，堆叠在所述第一保护层上，并且利用介电材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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