[发明专利]一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置在审
| 申请号： | 202110812267.0 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113629481A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 魏洁;金兵;张嵩;张冰;龙金友 | 申请（专利权）人： | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院;中国科学院大学 |
| 主分类号： | H01S3/105 | 分类号： | H01S3/105;H01S3/108;H01S3/11 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人： | 李鹏 |
| 地址： | 430071 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种产生160nm飞秒真空紫外激光脉冲的装置包括飞秒激光系统，飞秒激光光路系统，光丝成丝及四波混频产生系统，以及160nm激光脉冲检测及优化系统，本发明依靠现有的钛宝石飞秒激光系统将激光波段从800nm扩展到真空紫外波段，实现了160nm真空紫外波段飞秒光的输出，以及提供了一种能检测该波长的存在并将该波长的能量优化到最强的方法，最终测得其单脉冲能量为69nJ/pulse。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 产生 160 nm 真空 紫外 激光 脉冲 装置 | ||
【主权项】：
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