[发明专利]一种半导体透视检测设备有效
申请号: | 202110812871.3 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN113484713B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 刘登攀 | 申请(专利权)人: | 深圳市艾兰特科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 成都佳划信知识产权代理有限公司 51266 | 代理人: | 史姣姣 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安区松岗街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体透视检测设备,包括支撑地脚、下部内框架、封盖门、新滑台、X‑Y‑U载料平台、上部内框架、摇摆组合总装、控制面板、三色灯、透视门、显示器、操作控制台、连接铰链、X射线防护机壳、接近开关、感应器安装架、感应器支撑架、弧形导轨、第三感应器、第四传感器和安装卡架,所述下部内框架的外端面对称转动卡接有用于限位的封盖门,且位于所述的底端面四角均匀等距固定连有用于支撑的支撑地脚。本发明与以往的设备相比,主要在于平板探测器配备弧形导轨,可做单向倾斜至60度运动,采用X‑Y‑U载料平台,载料平台可做X,Y轴运动,也可做360度旋转运动,可以对产品进行不同角度,不同视角的全方位检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 透视 检测 设备 | ||
【主权项】:
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