[发明专利]带电粒子束装置和设定辅助方法在审
| 申请号： | 202110817170.9 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN114088758A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 渡壁一贵;桑原博文;宫原丈知;坂田隆英;F·蒂米什尔 | 申请（专利权）人： | 日本电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;张艳凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种带电粒子束装置和设定辅助方法，基于照射条件和试样的元素信息，生成参照像(82、202)。参照像(82、202)包含示出特征X射线产生范围的图形(112)、示出特征X射线产生深度的数值(114)等。伴随着加速电压、倾角或构成试样的元素的变更，参照像(82、202)发生变化。参照像(82、202)可包含示出入射电子散射范围的图形(204)、示出反射电子产生范围的图形(108)等。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 设定 辅助 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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