[发明专利]一种焦耳热与等离子体协同反应器有效
申请号: | 202110817620.4 | 申请日: | 2021-07-20 |
公开(公告)号: | CN113471051B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 张永起;夏新辉;李晨;汪东煌 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学长三角研究院(湖州) |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人: | 李林合 |
地址: | 313001 浙江省湖州市西塞*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种焦耳热与等离子体协同反应器,包括脉冲电源、射频发生器、第一法兰、第二法兰、第一电极、第二电极、第三电极、第四电极、四通连接器、三通连接器、反应夹具和反应腔;陶瓷垫、第一陶瓷扣、第二陶瓷扣、第一铜螺钉、第二铜螺钉、第一铜垫片、第二铜垫片和待反应样品。本发明将焦耳热反应置于等离子体反应腔内,实现两个反应的有机叠加。设计特殊结构的陶瓷的反应夹具,使得反应得到的等离子体气氛只与待反应样品反应,避免了气氛与反应夹具及导线反应所造成的设备寿命缩短和样品污染。焦耳热反应是在瞬间达到数千度高温,能够实现快速反应。 | ||
搜索关键词: | 一种 焦耳 等离子体 协同 反应器 | ||
【主权项】:
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