[发明专利]一种银钯铟靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110818657.9 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113564543A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张小军;陈林玉 | 申请（专利权）人： | 昆山嘉美荣材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C5/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市花*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种银钯铟靶材及其制备方法，包括以下步骤：向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼；待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸，冷却后获得铸锭；对铸锭进行轧制，获得半成品；对半成品进行热处理；后处理获得银钯铟靶材成品。本发明提供的银钯铟靶材及其制备方法，操作简单，所制备的银钯铟靶材抗盐雾和抗氧化能力强，材料晶粒细化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 银钯铟靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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