[发明专利]一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置有效
| 申请号： | 202110820247.8 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113607643B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 张帅;朱常任;魏国 | 申请（专利权）人： | 江苏拓正茂源新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 付钦伟 |
| 地址： | 221612 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置，包括坩埚、支撑板、工作台、限位组件、固定组件、驱动组件和调整组件，所述支撑板设于工作台上，所述驱动组件下端设于工作台内，所述驱动组件上端可旋转设于工作台上，所述调整组件设于工作台上端，所述坩埚设于支撑板上，所述调整组件设于坩埚内，所述固定组件设于工作台侧壁上，所述限位组件设于工作台侧壁上，本发明属于坩埚检测技术领域，具体是指一种便于调整角度的多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 石英 坩埚 检测 装置 | ||
【主权项】：
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