[发明专利]超滑骨架及其加工方法在审
| 申请号： | 202110827207.6 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113584456A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 徐芦平;李闯;向小健;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C16/56;C23C14/12;C23C14/10;C23C14/06;C23C14/08;C23C16/40;C23C16/34;G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超滑骨架及其加工方法，用于与超滑片组合构成超滑副，所述超滑片置于所述超滑骨架上，包括基底和设于所述基底上的薄膜层，所述薄膜层上设有若干个孔结构，所述薄膜层的表面是原子级平整表面，所述超滑片置于所述薄膜层上，且所述超滑片的尺寸大于所述孔结构的尺寸。本发明提供的超滑骨架，薄膜层的表面满足原子级平整，且孔结构的边缘不影响薄膜层的表面平整度，且超滑片的尺寸大于孔结构的尺寸，超滑片可以在超滑骨架上同时覆盖多个孔结构，从而可以避免超滑骨架上形成的凹凸结构影响其表面平整度，不仅有效的减小了摩擦力，且降低了对于超滑平面的加工要求，降低了加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 骨架 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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