[发明专利]一种晶圆传送时间的控制方法、装置及系统有效
| 申请号： | 202110830489.5 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113561050B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 崔凯;田国军 | 申请（专利权）人： | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005;B24B27/00;B24B37/34;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 胡炳旭 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种晶圆传送时间的控制方法、装置及系统。方法包括：获取当前待研磨的目标晶圆；基于云数据确定目标晶圆的在各个研磨工位的处理时长，其中，云数据包括历史晶圆在各个研磨工位的历史处理时长；获取目标晶圆传送至研磨工位的传送时长，并根据处理时长以及传送时长确定目标晶圆的传送起始时间；根据传送起始时间生成控制指令，并向机器人发送控制指令，控制指令用于控制机器人根据传送起始时间将目标晶圆传送至研磨工位。本申请通过云数据预测目标晶圆在各个研磨工位的处理时长，并结合传送时长能够得到传送晶圆的最佳时刻，从而解决晶圆在进入每个研磨工位前出现的排队情况，避免晶圆受到研磨工位所产生颗粒的破坏，保证晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传送 时间 控制 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京晶亦精微科技股份有限公司，未经北京晶亦精微科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110830489.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轨道式挖煤机器人
- 下一篇：色谱谱图的检测分析方法及电子设备
