[发明专利]一种压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110831350.2 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113551826A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 聂泳忠;吴超;吴晓东 | 申请（专利权）人： | 西人马联合测控（泉州）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 362012 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器及其制备方法，压力传感器包括：第一基座，所述第一基座的顶面设置有第一沉槽,所述第一基座中还设置有第二沉槽，所述第二沉槽位于所述第一沉槽的底部；第二基座，所述第二基座中设置有用于容纳压力传感芯片的容纳槽,所述第二基座位于所述第二沉槽中；波纹膜片，所述波纹膜片覆盖所述第一沉槽且与所述第一沉槽周围的第一基座的顶面固定连接；所述波纹膜片和所述容纳槽之间形成用于填充传压油的填充空间。所述压力传感器的测试精度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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