[发明专利]洗涤液组合物及使用其的洗涤方法在审
| 申请号： | 202110832189.0 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113969215A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 朴健熙;郑用昊;郑敬振;尹永镐 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/14 | 分类号： | C11D1/14;C11D1/22;C11D1/34;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/34;C11D3/36;C11D3/37;C11D3/60;C09K13/10;C09K13/08;C09K13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 曲在丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种洗涤液组合物及使用其的洗涤方法。根据本发明的一方面，提供一种洗涤液组合物，其包括：螯合剂，其包括第一有机酸及第二有机酸；以及蚀刻剂，其包括氟化物化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 洗涤液 组合 使用 洗涤 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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