[发明专利]一种悬浮二维材料异质结的转移方法在审
申请号: | 202110836324.9 | 申请日: | 2021-07-23 |
公开(公告)号: | CN113421845A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 宋骧骧;马赫;张拙之;秦国铨;郭国平 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 付丽 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种悬浮二维材料异质结的转移方法,本发明先提取一种二维材料,再用此二维材料依次提取其他材料,避免了每层二维材料都与PDMS粘附层以及附着层接触,显著减少PDMS粘附层以及附着层的有机胶膜在二维材料表面的残余。同时本发明转移方法还可制备悬浮的异质结,在将异质结转移至沟槽形成悬浮结构步骤中没有使用任何溶液,从而避免了液体表面张力的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬浮 二维 材料 异质结 转移 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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