[发明专利]一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器在审
| 申请号： | 202110837037.X | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113588149A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 胡东平;韩海军;陈川;王远;李华峰;伍星 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 王大刚 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，包括底板、弹性体、硅基MEMES压力传感器单元、磁体、磁感应线圈阵列；弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列设置于底板；磁体设置于弹性体中。使用硅基MEMS测压单元，无导电复合材料的电阻蠕变和电容式测压单元寄生电容的影响，精度高、稳定性良好；磁感应线圈阵列通过电磁感应产生电信号检测切向力的方向和大小，精度高，响应快，适合于动态力测量和滑动状态的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 单元 结合 线圈 阵列 柔性 模式 触觉 传感器 | ||
【主权项】：
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