[发明专利]一种真空预载气浮支承结构及其应用有效
| 申请号： | 202110837254.9 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113417940B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 胡秋;李梦阳;薛宝珠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C32/04 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空预载气浮支承结构及其应用，真空预载气浮支承结构，包括基板和浮板，所述基板的上端面向下凹陷形成真空腔，基板与浮板之间形成气膜间隙，基板内在真空腔下方设置有调节腔，调节腔与真空腔连通，调节腔的纵向截面呈凸形结构，所述调节腔的大端内设置有真空节流板，真空节流板的上端面设置有永磁体，所述永磁体能够在调节腔的小端内上下移动，真空节流板上设置有过孔，所述过孔与调节腔的小端错开设置，真空节流板的上端面与调节腔内壁之间形成真空节流口，所述真空腔通过真空节流口、过孔和抽气口与真空发生装置连通，所述浮板采用导磁金属材料制成。本发明通过磁力结构的引入，有效地提升真空预载气浮支承的刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 预载气浮 支承 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
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