[发明专利]基于涂覆抗反射涂层的层状堆叠结构的级联折射率传感器

摘要

本发明公开一种基于涂覆抗反射涂层的层状堆叠结构的级联折射率传感器，包括信号发射器、磁场发生器、角度控制旋转台、耦合器、层状堆叠结构、微型电机、光谱分析仪和载物平台；所述信号发射器、磁场发生器、角度控制旋转台、耦合器、光谱分析仪均与微型电机电连接；所述角度控制旋转台还与层状堆叠结构连接；所述耦合器还与层状堆叠结构和光谱分析仪连接；所述层状堆叠结构包括主体结构和抗反射涂层；所述主体结构包括依次排列的介质A1和InSb1介质；所述抗反射涂层包括依次排列的介质InSb2、介质A1和介质A2。本发明通过调控磁场强度的大小，可以实现不同折射率范围的级联测量。该传感器具有设计新颖、测量范围大、灵敏度高、功能可级联等特点。