[发明专利]晶体定向方法、装置及晶体加工方法有效
| 申请号： | 202110838522.9 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113433146B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 冯江河;刘睿恒;邱国娟 | 申请（专利权）人： | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
| 主分类号： | G01N23/20016 | 分类号： | G01N23/20016;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈;李玉娜 |
| 地址： | 518103 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体定向方法及装置，属于晶体定向技术领域。所述装置包括X射线衍射仪和搭载于X射线衍射仪的基台，基台上设置有待测晶体搭载区、水平翻转机构、轴向旋转机构和竖直升降机构。定向方法包括：放置待测晶体于基台上；全谱范围内对待测晶体进行衍射；小角度调节水平翻转机构和轴向旋转机构，记录X射线衍射仪对待测晶体不同晶面的衍射强度；预判目标晶面所需的基台调整角度和旋转方向，调节并微调做衍射，直至衍射谱中只保留目标晶面的衍射峰。本发明比劳埃衍射仪法和定向仪法更加便捷；能够精确获取所需晶面；成本低，无需其他辅助设备。本发明还公开了根据上述晶体定向方法的晶体加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 定向 方法 装置 加工 | ||
【主权项】：
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