[发明专利]利用双线条相机的断层摄影检查装置和方法

摘要

本发明公开一种断层摄影检查装置和方法。所述断层摄影检查装置包括：光源，其产生入射至样品的内部的测量光；光束分束器，其将测量光分割为基准光和样品测量光，并将基准光照射至基准部的基准镜，将样品测量光照射至样品，并且使从基准镜反射的基准反射光和从样品反射的信号反射光)重叠以生成干涉光；扫描镜，其将样品测量光依次引导至样品上的多个检查位置；以及检测部，其依次检测信号反射光重叠的多个干涉光，以获得样品的内部影像信号，所述检测部包括：光束分束器，其将多个干涉光分割为第一干涉光和第二干涉光；第一线条相机，其检测多个第一干涉光中的第奇数个干涉光；以及第二线条相机)，其检测多个第二干涉光中的第偶数个干涉光。