[发明专利]一种微镜用扭梁及具有该扭梁的电磁式扫描微镜

摘要

本发明涉及一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜，属于微光机电系统领域。该弯折梁的中间部分经多次弯折形成近回形结构。通过两个弯折梁将微镜板悬置连接在固定边框内侧，微镜板能够绕弯折梁轴线进行偏转。弯折梁能够有效降低梁的扭转刚度，提升扫描微镜的机械扫描性能，还能起到缓冲作用，提高了器件的抗振动和抗冲击能力，从而弯折梁可以支撑较大尺寸的扫描微镜。可以与微镜板的厚度相同，这不仅减小了器件的加工时间和加工难度，提高加工效率，同样有助于提高器件的结构可靠性。微镜板背面掏槽以减重，提高器件在环境振动中的稳定性，减少谐振频率。利用MEMS技术将固边边框、微镜板与弯折梁集成在一起，工艺简单。