[发明专利]一种高导热高强度氮化物陶瓷基板的制作方法

摘要

本发明公开了一种高导热高强度氮化物陶瓷基板的制作方法，S1、将氮化硅粉、烧结助剂、巴基管、磷酸三乙酯和溶剂，用球磨方式进行第一次混合。该高导热高强度氮化物陶瓷基板的制作方法，通过纤维拔出、桥联和裂纹偏转机制，在微裂纹尖端巴基管对裂纹张开产生阻力，由于巴基管的高弹性，在拉伸时会分散一部分的能量，使得裂纹无法继续扩展，由此提高了氮化硅陶瓷基板的韧性，同时巴基管进入氮化硅陶瓷材料孔隙中，使得材料致密性提高，同时碳纳米管的引入，导致了陶瓷复合材料导热性能的变化，这是因为烧结温度提高促进了烧结体内相转变过程，净化晶粒，降低晶格缺陷，提高了热导率。