[发明专利]一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备在审
| 申请号： | 202110860642.9 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113430497A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 石建华;袁强;张海川;孟凡英;程琼;刘正新;周华 | 申请（专利权）人： | 中威新能源(成都)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/08;C23C16/54;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备，属于半导体制备领域。柔性基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，柔性基材双面镀膜方法包括：S1、在第一表面形成第一膜层。S2、在第二表面形成第二膜层。S3、依次交替重复步骤S1以及S2，直至由多层第一膜层构成的第一薄膜的总厚度、以及由多层第二膜层构成的第二薄膜的总厚度均达到目标厚度为止。利用特定厚度的第一膜层和第二膜层时间上交错形成的方式，可减小第一薄膜和第二薄膜的应力释放，能够缓解因柔性基材双面镀膜造成的薄膜品质下降、柔性基材曲翘、甚至薄膜龟裂等问题，有效提高规模化生产的产品稳定性和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 基材 双面 镀膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
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