[发明专利]玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置及方法有效
| 申请号： | 202110861306.6 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113751450B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 程秀文;梁超 | 申请（专利权）人： | 蚌埠高华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B5/02;B08B3/08;B08B1/00;B08B15/04;G01N21/84 |
| 代理公司： | 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 | 代理人： | 王昕 |
| 地址： | 233000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置及方法，涉及LCD加工处理技术领域。在本发明中：吹风通道内配置有上出风装置和下出风装置，吹风通道内配置有位于上出风装置上游方位的第一位置传感器。吸尘通道内配置有上吸尘装置和下吸尘装置。光检装置下侧面安装有若干等间隔分布的曝光度检测机构，光检装置的下侧面嵌入设置有位于相邻的曝光度检测机构之间的远离处光度传感器，光检通道内设置有若干位于导辊结构下方的底侧伸缩装置。本发明不仅能有效的完成对抛光后的玻璃基板的抛光粉清除，也避免了玻璃基板进入中和处理通道后因用酸过量所导致的过度腐蚀，保证了抛光粉清除后的玻璃基板的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 表面 抛光 残留 检测 处理 一体化 系统 装置 方法 | ||
【主权项】：
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