[发明专利]用于检测荷电粒子或光的检测器在审

专利信息
申请号: 202110861930.6 申请日: 2021-07-29
公开(公告)号: CN114520141A 公开(公告)日: 2022-05-20
发明(设计)人: 高塚清香;小林浩之 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: H01J49/02 分类号: H01J49/02;G01N27/62
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;梁策
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开的一实施方式涉及包含AD并且检测荷电粒子或光的检测器,不改变限制该检测器的响应的AD的结构,就能够实现该检测器的响应的高速化。AD的驱动电路包含第一电容器及第一电阻。第一电容器及第一电阻的双方在将两端子设定成相同电位的状态下,与AD串联连接。通过该结构,AD的表观的静电容量变小,使包含该驱动电路的检测器整体的响应高速化。
搜索关键词: 用于 检测 粒子 检测器
【主权项】:
暂无信息
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