[发明专利]氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置有效
| 申请号： | 202110864294.2 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113737278B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 陈维恕 | 申请（专利权）人： | 达高工业技术研究院（广州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/12;C30B25/10;C30B29/18;C30B25/14 |
| 代理公司： | 广州科沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 张帅 |
| 地址： | 510530 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置，包括反应炉，反应炉为反向石英双炉管设计，反应炉的上端开设有石英分隔板，石英分隔板将反应炉的内外双石英管分为内通道和外通道，内通道上设置有第一进气口和第二进气口，外通道上设置有出气口，反应炉的顶端设置有进料口，进料口上方设置有多层石墨基座，多层石墨基座通过升降机构进入进料口进行反应，反应炉的外管壁上由上而下分别设置有第一线圈和第二线圈，第一线圈和第二线圈用于为反应炉加热，本发明利用反向的反应炉管以及多层石墨基座，并用线圈式的感应加热方式，可以大大节省径向空间，精确控制石墨基座的温度，指导晶体生长方向，大大提高反应温度控制精度，提高产品整体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 掺杂 玻璃 固化 装置 | ||
【主权项】：
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