[发明专利]夹爪、张网装置及张网方法在审
| 申请号： | 202110864511.8 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115697004A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 葛黎黎;贾威威;冯佳林;董浩 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/16 | 分类号： | H10K71/16;H10K59/10 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种夹爪、张网装置及张网方法。其中，夹爪中的导向单元包括具有至少两个连接轴的气浮导轨。在拉伸过程中夹持单元受到两个及以上的导向力，避免出现扭转导致的掩模板损坏或偏离目标焊接区域，影响张网精度。并且，反馈单元实时监测掩模板的拉伸位移并反馈至张网装置中的控制单元中，控制单元据此调整驱动单元提供的拉力，不仅提高张网精度，还避免掩模板的拉损。此外，夹爪的驱动单元中还加设了拉伸保护装置，拉伸保护装置可避免掩模板被拉损。当掩模板受到的拉力大于弹性件的弹力设定值时，弹性件增加弹性形变伸出第一框架，带动盖板与第一框架分离，以平衡拉力，减少掩模板的受力，进而保护掩模板免于被拉损，提高产率和经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 夹爪 装置 方法 | ||
【主权项】：
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