[发明专利]压力计的保护结构及使用方法在审
| 申请号： | 202110864537.2 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115681823A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 徐亚平 | 申请（专利权）人： | 中芯南方集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/00 | 分类号： | F17D5/00;F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力计的保护结构，包括：缓冲腔，具有第一管路和第二管路，所述第一管路的端部连接所述压力计，所述第二管路的端部连接反应腔，多个所述缓冲挡板，位于所述缓冲腔内；清洁管路，一端连接在所述第一管路上，且位于所述缓冲腔与所述压力计之间；排空管路，一端连接在所述第二管路上；当反应腔内产生腐蚀气体时，由于所述缓冲腔的存在，所述缓冲腔能够起到延长腐蚀气体进入到所述压力计内的时间，从而在相同的时间内降低抵达所述压力计的腐蚀气体的浓度，减少了腐蚀气体对所述压力计的腐蚀作用。 | ||
| 搜索关键词： | 压力计 保护 结构 使用方法 | ||
【主权项】：
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