[发明专利]一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法在审
申请号: | 202110864600.2 | 申请日: | 2021-07-29 |
公开(公告)号: | CN115682966A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 白进;闫慧聪;高润飞;李雪峰;景吉祥 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | G01B11/08 | 分类号: | G01B11/08 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法,调整CCD摄像机以使硅棒、导流筒和熔硅液面投影至视觉界面内;判断在所述视觉界面内所述导流筒是否偏移并予以校正;获取若干组所述硅棒在所述视觉界面内的尺寸;基于所述CCD摄像机的像素值和若干组所述硅棒在所述视觉界面内的尺寸,算出所述硅棒在拉制过程中的在线直径。本发明设计的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法,可自动并判断导流筒和CCD的位置是否偏移并可根据判断结果进行自动校准其位置,再基于CCD拍摄到的视觉图像图中硅棒的投影直径,再经中位置平均滤波算法对测得的实时在线硅棒直径进行平均计算,以获得精准的实时在线硅棒直径,与拉之后的实际直径相比,再现性好且精确率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 径制程中硅棒 在线 直径 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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