[发明专利]一种电磁分离式镀膜装置及方法在审
| 申请号： | 202110864919.5 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113564552A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张斌;贾倩;张俊彦;高凯雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 史云聪 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁分离式镀膜装置，属于真空镀膜技术领域，包括主真空腔体,所述主真空腔体的前后两侧均开设有真空腔体门,前后两个所述真空腔门体的正中位置均设置有一组磁控溅射靶，两组所述磁控溅射靶对称设置；所述主真空腔体的左右两侧外壁上对称设有两组离子源,每组所述离子源的两侧分别对称设有两组磁感线圈；所述主真空腔体的顶部连接有真空泵组,所述主真空腔体内底部安装有工件架，所述工件架用于安装待沉积样件；所述主真空腔体内还安装有辅助阳极。本发明还公开一种电磁分离式镀膜方法，本发明能够有效提高三维空间等离子体密度、增加离子能量、获得性能优异薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 分离 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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