[发明专利]显影方法及显影装置在审
| 申请号： | 202110865198.X | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113448184A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 秦利鹏;郑海昌;王晓龙 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开显影方法及显影装置，所述显影方法，包括：在控制显影液喷洒装置对第n个晶圆完成喷涂阶段之后，控制显影液喷洒装置运动至起始位置等待一预设时间，再运动至喷涂工位，以对第n+1个晶圆完成所述喷涂阶段；其中n为正整数。利用本发明的方法，能有效地解决晶圆表面缺陷的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 方法 装置 | ||
【主权项】：
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